产品描述：
Tencor P-7探针式轮廓仪以成功*市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的*测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。

特征：

• 台阶高度：纳米级到1000微米
• 恒定力控制：0.03至15mg
• 样品的全直径扫描，无需拼接
• 视频：5MP高分辨率彩色相机
• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
• 软件：简单易用的软件界面
• 生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

应用：

• 台阶高度：2D和3D台阶高度
• 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
• 形状：2D和3D翘曲、形状
• 应力：2D和3D薄膜应力
• 缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌

工业：

• 高校、实验室和研究所
• 半导体和化合物半导体
• LED：发光二极管
• 太阳能
• MEMS：微机电系统
• 数据存储
• 汽车
• 医疗器械