公司简介 - 那诺-马斯特中国有限公司

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公司简介

NANO-MASTER INC前身是NANO-MASTER USA，该公司是NANO-MASTER S.A.,France于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际*的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA并正式更名。
NANO-MASTER自2001年开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。不到十年的时间内NANO-MASTER已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。
Birol Kuyel博士作为NANO-MASTER, Inc.的主席和CEO，其背景涵盖了宽广的技术领域，包含高温等离子物理、流体学、Si3N4 薄膜沉积和特性描述、X射线源开发、DUV源开发、DUV步进和扫描光刻设备开发、光刻运营成本建模(SEMATECH)等，目前拥有9项*技术，并发表过大量的学术论文。
NANO-MASTER聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有*的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终位维持*高水平的集成度。
NANO-MASTER作为国际性的专业薄膜工艺系统的供应商，提供的产品涵盖了沉积、刻蚀、生长、表面处理、清洗、空间仿真仪器测试等类别。
主要的设备包含有：
1. E-Beam电子束蒸发系统，Thermal热蒸发系统；
2. PECVD等离子增强化学气相沉积系统；
3. PLD脉冲激光沉积系统，DLC类金刚石沉积系统；
4. Sputering磁控溅射(DC&RF)系统；
5. Ion Beam离子束溅射/清洗/刻蚀/研磨系统；
6. RIE反应离子刻蚀系统，DRIE深硅刻蚀系统；
7. ICP电感耦合等离子系统；
8. Plasma等离子清洗/改性/去胶系统；
9. ALD原子层沉积系统，PA-MOCVD系统；
10. CNT生长系统，石墨烯生长系统；
11. PIII等离子注入系统，RTP真空退火；
12. Megasonic兆声清洗/刻蚀；
13. Device Testing Systems设备测试(空间仿真)；
14. Heated Platens等离子样品台等。
NANO-MASTER的设备广泛应用于：LED领域，MEMS领域，纳米技术领域，光电子学，光伏领域，研究开发、半导体领域，空间仿真学，新兴技术等。

主营产品

晶圆清洗机,PECVD,热蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,RIE/反应离子刻蚀机,IBE/离子束刻蚀机,电子束蒸发镀膜机,ALD/原子层沉积,离子束研磨机,光学涂层系统,PAMOCVD/等离子金属有机化学CVD,