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NANO-MASTERINC前身是NANO-MASTER USA，该公司是NANO-MASTERS.A.,France于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际*的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始BirolKuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA并正式更名。NANO-MASTER自2001年开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。不到十年的时间内NANO-MASTER已经发展成...
